二手 KLA / TENCOR AIT #149932 待售

KLA/TENCOR AIT（Advanced Inspection Technologies）是一種綜合性的集成晶圓測試和計量設備，旨在滿足先進半導體應用的關鍵需求。該系統結合了技術最先進的技術和方法來評估、測量和表征各種晶圓類型、幾何和特性。該單元采用最先進的光學、成像和計算機視覺以及基於物理的分析和計量軟件。KLA AIT的主要元素包括高分辨率相機、圖像處理工具、掃描電子顯微鏡（SEM）、圖像捕獲和重建機、光掩模標線、激光和3D剖面儀。高分辨率相機檢測晶圓形狀和拓撲結構的微小變化，以識別否則可能被忽略的細微缺陷。此外，它與成像和運動控制軟件相結合，提供了最高精度和精確的晶圓對準。SEM能夠產生晶片表面的圖像,並且可以檢測到各種無法使用照相機檢測到的缺陷。它對晶片上存在的特性，如水分和缺陷的精確分析，可以在生產過程的早期發現問題。圖像捕獲和重建工具可以對晶片進行精確的3D檢查。可以分析表面形態和缺陷等特征的大小和形狀。這些信息可以與相機圖像和SEM數據結合起來，準確識別晶圓上的任何缺陷。光掩模標線允許詳細評估晶圓元件的對齊方式。掃描激光器用於激光蝕刻晶片的圖樣，三維剖面儀提供整體形狀和尺寸信息。最後，TENCOR AIT可以與其他計量儀器集成，如原子力顯微鏡（AFMs）和掃描白光幹涉儀（SWLI），提供一套全面的晶圓測試和計量能力。綜上所述,AIT是一種先進的晶圓測試和計量資產,它結合了最新的技術和復雜的軟件來檢測和表征各種晶圓類型、幾何形狀和特征。通過利用最先進的組件並與其他計量儀器集成,它為半導體制造商提供了全面、準確和精確的晶圓測試和分析能力。