二手 KLA / TENCOR AIT #293751271 待售
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ID: 293751271
晶圓大小: 8"
Defect inspection system, 8"
(2) Racks
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KLA/TENCOR AIT,又稱晶圓測試計量設備,是一種先進的檢測系統,旨在精確檢測和測量半導體晶圓中的缺陷。它與晶片晶片配合使用,以便檢查晶片表面並測量關鍵尺寸、缺陷或圖樣。該單元利用機器視覺和基於物理的技術相結合,產生高度準確的結果。這臺檢測機采用透鏡和鏡子、激光光源、傳感器等多種光學元件的組合,從多種方向操縱光,創建晶圓表面的3D圖像。這允許對晶片表面進行高度詳細的查看,以幫助以高精度檢測任何異常。該工具還配備了計量資產,使用探針、墊和掃描方法來測量晶圓表面的關鍵尺寸並確定其質量。KLA AIT先進的檢測技術提供了比其他傳統檢測方法明顯的優勢,因為它能夠以非常高的精度檢測和測量。這保證了晶片晶片所產生的晶片是無缺陷的,符合要求的規格。該模型還非常有效地減少了獲得晶圓質量反饋所需的時間,特別是在大批量生產線中。總體而言,TENCOR AIT是一種用於半導體晶片質量保證和缺陷識別的高度可靠的設備。通過提供一種自動化、高度精確的晶片檢測和測量方法,可以幫助降低晶片制造成本,提高產量,提高晶片整體質量。
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