二手 KLA / TENCOR AIT #72571 待售

KLA/TENCOR AIT是一種晶圓測試和計量設備，自動化測量半導體器件物理特性的過程。該系統能夠每小時掃描多達2000個晶圓，提供快速可靠的分析。該機采用高速激光計量和微秒控制裝置，精確地獲得了± 0.1微米的精密測量結果。該工具由多個組件組成，這些組件協同工作，在掃描晶圓表面時納入實時數據的非接觸測量。這包括一個X-Y階段，即資產的平臺，允許它以精確的定位在晶圓上移動。一個激光計量頭被用於探測地形的變化，以及一個皮秒控制模型。利用高度、變化、寬度和平面四個不同的通道獲得精確的測量結果。使KLA AIT設備與其他晶圓測試系統脫穎而出的進步是其高分辨率攝像機、最佳光學器件以及晶圓識別的專有算法，從而最大限度地減少了任何測量誤差。它有內置的校準和驗證測量，以檢查關鍵測量的準確性，如焊球和裝置側壁。除了綜合測量能力外，TENCOR AIT系統還具有高速、無損檢測和自動化過程控制功能。這為工程師和制造人員提供了準確、精確地測量設備所需的工具,同時調整可能需要更改的任何工藝參數。總體而言，AIT裝置是一種創新的晶圓測試和計量機器，以前所未有的速度提供快速和準確的測量。它能夠每小時掃描多達2000個晶圓,並為技術人員提供正確測量設備和調整任何參數所需的工具。這項尖端技術可加快上市速度,同時提供一致準確可靠的數字。