二手 KLA / TENCOR AIT #9190534 待售

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KLA / TENCOR AIT
已售出
ID: 9190534
Patterned wafer surface inspection system.
KLA Advanced Inspection Technology,KLA/TENCOR AIT)是一種晶圓測試和計量設備,用於識別和表征晶圓上引起缺陷特征的計量。該系統使用全自動機器人系統捕獲高分辨率圖像。然後使用模式識別算法來檢測圖像中的細微形狀和模式,提供更全面的晶圓圖片,非常適合缺陷檢測和表征。KLA AIT單元可以在任意尺寸層和200 mm晶圓上運行。它還具有較低的失效晶圓率和提高的產量。這臺機器使客戶能夠通過其高分辨率輸出實時捕獲和分析缺陷圖像,從而提高產品質量和產量。TENCOR AIT工具提供了一個經濟高效的解決方案,以提高晶圓廠的生產率,減少檢查周期時間,以及總銑削和研磨時間。AIT資產具有簡化晶圓檢測的直觀用戶界面。它可以收集微小的缺陷顯微照片,並為客戶提供圖像和分類信息。模型還可以識別缺陷是否落在一定的尺寸範圍內,並根據缺陷的屬性來識別細微的形狀來對缺陷進行分類。KLA/TENCOR AIT設備為改進缺陷檢測和表征打開了大門。它可用於設備和工藝鑒定、過程可持續性、故障分析、模具產量估計和誤報減少。經過TENCOR驗證的晶圓測試和計量系統在許多客戶應用程序中同樣可靠。KLA AIT單元是一種高度專業化且易於使用的過程控制器,精度精確,能夠檢測到最小的缺陷。該機器的設計目的是提供可靠、可重復的結果,而測試和計量結果的變化很小。此外,該工具旨在通過管理身份驗證令牌和安全的數據傳輸過程來保護客戶數據並確保隱私。KLA/TENCOR高級檢驗技術提供晶圓測試和計量解決方案,使晶圓能夠增強節點均勻性、降低產品產量並優化設備和工藝性能。有了TENCOR AIT資產,客戶可以顯著降低報廢率、拒絕率和工藝漂移,並提高其工廠的性價比。
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