二手 KLA / TENCOR AIT #9239215 待售

KLA/TENCOR AIT（Adaptive Inspection Technology）是KLA開發的晶圓測試和計量系統。KLA AIT旨在以更高的速度和精度對半導體晶片進行檢測和定性表征。該系統將高速專有圖像處理技術與自動化電氣測試相結合，檢測不可見的生產產量元件。TENCOR AIT的首要目標是減少降低晶圓產量的不可見故障。AIT因其用於對晶圓微觀結構的詳細檢查而常被稱為「第三眼」。它利用先進的軟件算法來查找降低產量的最小、看不見的眼睛缺陷。機器的內置機器視覺由一系列高級傳感器組成，這些傳感器捕獲晶圓的圖像，以便檢查表面拓撲和均勻性。然後對這些圖像進行分析,以非常高的速度檢測尺寸參數（如特征、粒子分布和動態缺陷）的變化。該系統的獨特之處在於它能夠在宏檢查過程中將電氣測試與晶圓表面圖像相結合。一般而言,KLA/TENCOR AIT提供了最先進的計量和成像與缺陷成像功能的組合。這使得它甚至可以找到可以降低晶圓產量的最小缺陷。憑借其創新的掃描、探測和測試功能,KLA AIT可以快速發現並查明產量缺陷,分辨率高達10微米。它還可以識別和測量關鍵尺寸,例如線寬、特征高度和閘門區域,以確保產品的高產。總體而言，TENCOR AIT為半導體制造領域的公司提供了增強的質量控制和提高的產量。它可以檢測、隔離和識別最小的可見和不可見的缺陷,幫助企業在半導體行業中保持競爭力。AIT具有先進的成像和探測功能,對於半導體行業的公司來說,它是一個可靠且必不可少的工具。