二手 KLA / TENCOR AIT #9252969 待售

KLA/TENCOR AIT是一種晶圓測試和計量設備，主要用於半導體工業。它結合了一套自動化光學檢查（AOI）系統和先進的計量硬件和軟件，提供高速自動化晶圓掃描、分析和測量能力。該系統專為大容量晶圓測試和計量而設計,可提高吞吐量並加快上市速度。KLA AIT單元包括自動化測試設備（ATE）和集成光學測量機（OMS）的組合，以提供全面的測試和計量能力。該工具的光學資產用於查找和準確定位缺陷,以及測量任何類型的晶體管,包括高度縮放的小型幾何設備。OMS包括一個可以提供2 µm分辨率橫跨晶片的高分辨率相機，以及一系列光學檢查和計量工具。TENCOR AIT模型還具有用於自動測試和計量的模式控制設備（PCS）,提供實時缺陷、形狀、大小和顏色數據。PCS的自適應響應技術可實現更精確的對齊和特征提取,從而顯著提高產量。該系統還設有晶片跟蹤單元（WTS），該單元集成了OMS、PCS和其他技術，以監測晶片運動和防止汙染。AIT機器的軟件具有一組用戶友好的圖形工具,可快速、方便地訪問該工具的測試和計量功能。它具有用於快速查看結果的內置數據分析工具,以及一組用於促進缺陷選擇和分析的模式識別工具。資產還包括一套用於生產線診斷、過程控制和過程優化的晶圓分析功能。簡而言之，KLA/TENCOR AIT是一種綜合性的晶圓測試和計量模型，旨在提高吞吐量，縮短上市時間，最大限度地提高產量。它提供了一個集成的AOI設備，具有先進的計量硬件和軟件，能夠自動測試、分析和測量納米級的晶體管。KLA AIT系統具有用戶友好的工具和內置的數據分析功能,為半導體制造提供了高效、經濟高效的選擇。