二手 KLA / TENCOR AIT #9256108 待售

KLA/TENCOR AIT是一種晶圓測試和計量設備，集成了測試和檢驗技術，用於高生產率的半導體晶圓分析。該系統旨在實現業界領先的2D和3D體系結構測試速度和精確空間測量。KLA AIT結合了復雜的應用和功能，在單個平臺上提供自動對齊、測試檢測、缺陷識別和分類、高精度計量和相關性分析。晶片測試單元由一個模塊組成，該模塊結合了離線校準、高速和大視場掃描、可靠的自動對準、統計過程控制、晶片與晶片的相關性以及現場測試等幾個重要功能。該機器能夠處理直徑達300毫米的大尺寸晶片，具有優異的缺陷檢測精度，提高了產量。其先進的測試技術提供高通量缺陷檢測和同時多傳感器測量。TENCOR AIT工具具有直觀的圖形用戶界面,易於操作,並具有強大的硬件,可實現可靠而強大的測試性能。該資產利用高精度光學對準模型來縮短曝光時間，並在不同的傳感技術中自動對準晶片。此功能可確保所有測試配置的一致精度和可重復測量。此外,該設備設計為具有靈活的分組,可同時測量多個樣品,從而實現更快的測試吞吐量。它還具有智能缺陷管理解決方案、增強的攝像頭系統、更好的相關性算法以及高級晶圓映射功能。AIT能夠檢測和分類最微妙的缺陷,幫助客戶優化晶圓制造過程並推動產量提高。該系統是先進晶圓操作的組成部分，為每個應用程序提供一致的過程中晶圓測量和測試結果。此外,軟件套件還提供強大的數據分析功能,可實時顯示測試結果。這使客戶能夠輕松排除流程問題並提高整個流程的性能。