二手 KLA / TENCOR AIT #9389839 待售

KLA/TENCOR AIT，一種晶圓測試和計量設備，是針對先進半導體制造要求的自動化晶圓檢驗和計量系統。它由一個金屬框架和多個自動化的機器人工具組成，使晶片在卡盤上的精確定向、超聲波清洗、光學檢查和必要的計量。該系統通常包括一個激光幹涉儀和一個軟件包，可以對設備進行全面控制。激光幹涉儀用於測量晶圓表面上的任何距離或位置變化。該單位可以測量晶片的厚度、平坦度和表面粗糙度，精度高達1nm。機器還包括一個自動化視覺工具，其中包括高分辨率相機、光學、激光和照明，可以編程用於個性化檢測。它可以檢測晶片表面的任何一種汙染或缺陷，如裂紋、夾雜物、顆粒和劃痕。此外,它還可以檢測晶圓上是否存在模式,並產生詳細的相關性。此外，資產還包括自動采樣和圖像采集以及專有技術，以產生可靠的數據點，保證產量。例如,它可以將晶片拍攝的圖像與預定義的參數進行比較,以確定均勻性和一致性級別。此外,該模型還使用戶能夠管理多個過程並執行分析實驗。它提供了全面的數據分析工具，使操作員能夠借助高級圖形輸出分析晶片的趨勢和行為。它還可以幫助確定可能需要調整以達到最佳生產性能的工藝參數和其他設備變量。由於其靈活性和能力，KLA AIT在半導體行業被廣泛接受。該系統通過提供高速自動化檢查和數據采集功能,顯著提高了生產率並降低了成本。此外,掃描速度高達每小時800晶圓,大大縮短了檢查時間。總體而言,TENCOR AIT是一個高級設備,可幫助半導體制造商提高生產效率、質量和成本效益。它的自動化工具為分析提供了可靠的數據點,使用戶能夠立即采取行動以確保流程優化。此外，它的自動化視覺機提供了汙染和缺陷的詳細分析。該工具極具可靠性和成本效益，幫助企業減少檢驗時間，提高好晶片的產量。