二手 KLA / TENCOR AIT #9400274 待售
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單擊可縮放
ID: 9400274
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 1997
Patterned wafer inspection system, 6"-8"
Double darkfield inspection tool
SECS II / GEM Communication interface
Low contact chuck
Multi-channel collection optics system with independent
Programmable spatial filters
Wafer transfer area housing cover
Wafer handling module
High voltage electronics
Front / Rear EMO with covers
Fold down keyboard tray with built-in mouse
X/Y Drive / Controller chassis
Motion controller card
Blower box
Flat panel display
Pentium CPU
Manuals
Operating system: Windows NT
1997 vintage.
KLA/TENCOR AIT(Advanced Interactive Technology)是領先的晶圓測試和計量設備,提供有關納米和微處理器質量的快速、可靠和有意義的信息。該系統提供高端計量、缺陷檢測和分析功能,以幫助半導體制造商生產和監控集成電路。KLA AIT系統使用先進的、自動化的光學檢查算法來檢測晶片中的缺陷。該單元設計具有亞微米分辨率能力,提供最高精度和詳細缺陷分析。TENCOR AIT創新的晶圓測試和計量技術讓用戶能夠快速準確地分析晶圓,查明缺陷,測量特征和模式。此外,AIT系統還允許用戶設置自定義檢查並監控多個站點的流程,以確保質量控制。在分析晶片時,KLA/TENCOR AIT系統分別使用包括亮場、紅外和紫外線在內的多種成像技術。這些技術提供了晶圓的全面視圖,可以識別最具挑戰性的缺陷和變化。機器的缺陷檢測算法由獲得專利的解密AtPixel (DAP)庫提供支持,該庫允許用戶可視化、調查和測量微妙的模式和缺陷,否則很難檢測到這些模式和缺陷。KLA AIT的軟件功能強大,為用戶提供了一種自動化、簡化的工具操作方式。從晶圓映射和模式識別到缺陷分析和過程控制,軟件允許用戶提取關鍵數據點,更快速高效地做出準確決策。此外,該軟件還具有高級分析功能,允許用戶查看詳細報告、創建光學模型以及生成數據驅動的見解。TENCOR AIT是一種可靠而全面的計量資產,可提供全面的缺陷檢測和可靠的分析功能。它采用直觀的軟件和先進的成像技術,提供了晶圓的全面視圖,使識別和糾正缺陷比以往任何時候都更加容易。對於半導體制造商來說,AIT是一個非常寶貴的工具,能夠幫助確保其產品的最高質量水平。
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