二手 KLA / TENCOR Aleris 8350 #9375870 待售

KLA/TENCOR Aleris 8350是一種高靈敏度晶片測試和計量設備，旨在實現高分辨率晶片均勻性的精確分析。該系統用於半導體制造過程，以確保產品質量一致。KLA Aleris 8350提供了一套用於晶圓測試的計量工具，包括表面剖面儀、光學CD測量工具和粒子檢測器。表面剖面儀測量晶片特征（如溝槽、閘門和虛擬結構）的關鍵尺寸和厚度。光學CD測量工具為測量各層深度的線寬、空間寬度、深度和輪廓提供了高靈敏度和準確性。粒子探測器能夠探測到10納米以下的粒子，從而能夠排除任何可能汙染晶圓表面的粒子。該單元配備了提供晶圓形狀高分辨率圖像的高分辨率相機，以及用於查看缺陷的紫外線，如空隙、缺陷和顆粒。該機還可用於監測工藝參數，如蝕刻速率和腔室壓力。TENCOR Aleris 8350配備了專有的圖像處理算法，以確保數據的收集和解釋準確。此算法處理圖像以一致、準確地添加特征、檢測缺陷以及測量線寬、空間寬度和層厚度。該工具包括用於數據采集、分析和報告的自動化軟件。它可以用來記錄測試結果，並以多種格式生成數據報告，包括PDF和Microsoft Excel。該資產還可用於實時顯示晶圓形狀和狀態以獲取統計信息。Aleris 8350提供晶圓測試和計量解決方案，具有高精度、精確度和重復性。它是半導體制造過程中確保產品質量一致的重要工具。此模型可用於收集可靠數據和生成報告,以推動優化和一致性。