二手 KLA / TENCOR Aleris CX #9315378 待售

KLA/TENCOR Aleris CX是一種先進的晶圓測試和計量設備，專門設計用於提供各種半導體器件的高效計量。這種自動晶片測試和計量系統旨在以最大的吞吐量和高度精確的測量結果運行,特別是在缺陷審查、高級光刻、參數測試和產量優化等領域。該單元是模塊化的，集成了三個主要組成部分：檢驗機、計量工具和特征比較資產。檢測模型是高速缺陷檢測、晶片上各種粉末檢測、CD、覆層、厚度、電阻率、平整度檢測的全自動設備。它還支持自動和手動缺陷審查。它采用大功率成像光學、多束激光散射法進行無損碼，激光印刷進行晶圓識別。計量系統提供高級計量功能,包括CD、叠加、計量、電阻率、電阻變化、平坦度和其他高精度測量。它利用先進的軟件算法提供了非常準確的結果。它也具有很高的可擴展性，允許在一次運行中快速評估多個晶片。功能比較單元是一個先進的計量機器，提供快速和精確的測量晶體管設備。利用圖像重建算法和基於物理模型的仿真相結合，分析了晶體管器件的特性。該工具旨在測量晶體管器件的時序以及隧道電流和泄漏電流等其他晶體管特性。KLA Aleris CX是一種先進的測試和計量資產，用於測量各種精度和速度最高的半導體器件。它提供了高效的缺陷檢測，支持多光束激光散射測量，快速準確的特征比較。該模型具有高度模塊化,可根據客戶需求輕松定制其各種組件。