二手 KLA / TENCOR Aleris CX #9380621 待售
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ID: 9380621
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Film thickness measurement system, 12"
(3) Loadports with KAWASAKI robot
With Hard Disc Drive (HDD)
P/N: 020276-001
2007 vintage.
KLA/TENCOR Aleris CX是為半導體和MEMS制造而設計的晶圓測試和計量設備。它將最新的光學和X射線成像技術整合到一個減少缺陷水平和提高產量的大容量平臺中。它有助於縮短周期時間並提高生產吞吐量。KLA Aleris CX采用600毫米高速成像系統，能夠每小時檢查數千個晶圓。它通過雙頭配置和專用產品的可選多頭體系結構提供二維（2D）信息收集功能。這為該單元提供了四個成像卷和六個獨立定位的攝像機（兩個分別用於散焦、表征和衍射成像）。此外，成像機易於調節，使其能夠捕獲表面特征和深層地下特征的制造晶片。該工具采用KLA專有算法來執行檢查和缺陷表征。這些算法允許TENCOR Aleris CX以高精度和靈敏度檢測新出現的缺陷和多重故障模式。Aleris CX還有助於自動實現晶片到晶片以及晶片到標線的內聯過程相關性。它可以比較各晶片或工藝的檢查結果，以快速識別工藝偏移和缺陷。該資產提供快速的圖像捕獲、檢測器傾斜測量和高速缺陷定位。它還可以進行深度剖面圖和詳細的3D地形分析。此外,KLA/TENCOR Aleris CX的X射線成像能力使其能夠檢測非常規圖案晶片上的薄膜材料堆棧。KLA Aleris CX具有直觀、用戶友好的圖形用戶界面（GUI）。這個直觀的界面結合了靈活的集成過程和模塊化軟件體系結構,為制造商提供了一個通用的晶圓測試解決方案。TENCOR Aleris CX具有高性能的成像和計量特性，是半導體生產及MEMS、生物醫學器件制造等行業晶圓測試和產量管理的理想選擇。該模型可通過縮短上市時間、改進過程控制和提高產量來促進成本節約。
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