二手 KLA / TENCOR Aleris HT #9231452 待售

KLA/TENCOR Aleris HT是為半導體晶片在線質量保證而設計的最先進的晶片測試和計量設備，符合半導體行業最嚴格的要求。該系統首先能夠對單個晶片進行全場測試和計量，使其處於最新先進晶片測試和計量技術的最前沿。KLA Aleris HT使用先進的光學器件和晶圓分析引擎，提供了比上一代晶圓檢測系統更多的好處。單位的關鍵能力之一是速度和準確性。由於該機器能夠以高達750 mm/秒的速度對全晶片的數字圖像進行成像和分析,TENCOR Aleris HT可以快速檢測晶片中的任何異常或故障,從而能夠快速進行過程校正和糾正操作。同時，其先進的CCD成像技術也確保了該工具提供像素大小僅為1.1微米的超高分辨率成像。低噪聲、低背景噪聲和低噪聲分析功能能夠捕獲和呈現可靠的結果。部分由於其捕獲甚至微觀缺陷的能力，資產可以識別和量化各種故障和故障模式，如潛伏缺陷、缺陷簇、空隙和粒子非均勻性。這使得Aleris HT可以檢測肉眼有效看不見的東西，進一步增強其快速準確診斷晶圓缺陷的能力，並在其他系統的一小部分時間內查明過程問題。KLA/TENCOR Aleris HT還具有「true-to-quipe」的測量特性，使其能夠驗證晶圓計量的缺陷水平接受。這有助於確保保持總體質量控制,尤其是在復雜操作（如CMP或蝕刻）期間。該模型還集成了圖像流和分析，使得實時提供過程漂移數據更加容易。另外，KLA Aleris HT還利用先進的監測技術跟蹤晶圓加工和檢測環境變化。這項技術加上警報和OPC功能,有助於簡化晶圓跟蹤,並最終將停機時間降至最低。此外，它的集成校準特性確保了TENCOR Aleris HT始終是健全和警覺的，使得晶圓測試和計量工作變得輕松。作為一種綜合性、高性能的設備，Aleris HT使半導體工藝工程師能夠盡早發現潛在問題。歸根結底,該系統使診斷和糾正晶片缺陷變得更容易、更快,從而在不影響生產質量的情況下實現最大吞吐量。