二手 KLA / TENCOR Aleris HT #9380623 待售
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ID: 9380623
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Film thickness measurement system, 12"
SpectraFX 1000 HT
(2) Loadports with YASKAWA robot
With Hard Disc Drive (HDD)
2005 vintage.
KLA/TENCOR Aleris HT是一種最先進的晶圓測試和計量設備，為生產高性能微電子元件提供先進的機器人技術、可視化和測量能力。它提供了多種測試選項和晶片處理功能,可幫助最大限度地提高晶片質量和吞吐量,同時最大限度地降低成本和時間。KLA Aleris HT支持在掃描和有限掃描幾何上進行晶圓測試，包括掃描電子顯微鏡（SEM），用於對復雜的亞微米特征進行模模和模邊檢查。模塊化系統提供了對多個晶片的同時檢查，使用戶可以靈活地定制自己的工作流程。借助快速的檢測速度和業界領先的5速檢測掃描選項,使用TENCOR Aleris HT可以實現高達50%的晶圓吞吐量。除了其先進的測試功能外，Aleris HT還支持晶圓計量。它包括一個獨特的掃描近場光學顯微鏡，這使得極端高分辨率成像，以測量各種關鍵特征與納米精度。利用其先進的掃描電容顯微鏡，該單元可以測量單個互連結構上的電容、電阻和其他電性能。最後，KLA/TENCOR Aleris HT包含一個魯棒的晶圓分析算法庫，旨在自上而下自動檢測和隔離晶圓結構各級的缺陷。KLA Aleris HT的用戶友好界面允許運營商輕松配置和監控其測試和計量操作。包括的內部審計跟蹤功能確保了法醫分析的可追蹤性。該機器還包括遠程訪問功能,允許從中心位置控制和監視測試和計量操作。綜上所述，TENCOR Aleris HT是一款先進的、多合一的晶圓測試和計量工具，提供先進的機器人技術、可視化和測量能力，以生產出具有更快晶圓吞吐量和更高精度的高質量微電子元件。Aleris HT具有用戶友好的界面、可靠的分析算法庫和遠程訪問功能,可幫助制造商降低成本和時間,同時確保頂級產品的質量。
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