二手 KLA / TENCOR Aleris HX #9407132 待售
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KLA/TENCOR Aleris HX是一種晶圓測試和計量設備，旨在提供各類晶圓的高性能檢測、測試和特征計量結果。該系統由一臺精密光學顯微鏡、一個自動采樣臺和一個強大的分析軟件組成。該單元內的精密光學顯微鏡提供了一種集成成像能力，可以捕獲整個晶圓表面或各個位點的圖像。顯微鏡的放大倍率在5倍到100倍之間，用戶可以分析故障，如裂縫、空隙和缺陷。顯微鏡還能夠捕捉單個站點的聚焦圖像，從而產生用於計量目的的高度詳細的圖像。機器的自動化采樣階段提供可靠的晶圓處理和高吞吐量。它可以將晶片移動至每分鐘30班，直徑600毫米的晶片可重復性為0.02微米。該階段還能夠提供高速掃描，在不到3分鐘的時間內對8英寸晶圓進行一次掃描。該工具功能強大的分析軟件通過集成的用戶界面提供高效的工作流,從而縮短處理時間並減少用戶輸入錯誤。它還允許用戶定義交互式分析條件，分析測量結果和報告詳細數據。此外,它使用戶能夠訪問其結果數據庫,該數據庫提供具有數據分析和比較功能的定制圖形和表格報告。總體而言,KLA Aleris HX是一種功能強大的晶圓測試和計量資產,可提供高精度、高吞吐量和用戶友好的工作流。它是研究和表征各類晶片的理想模型，包括基板、絕緣體和電阻器。
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