二手 KLA / TENCOR Alpha Step 100 #293606740 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 100是一種設計用於半導體研發實驗室、工業電子生產和相關應用的「晶圓測試和計量」設備。它將基於接觸的高級表面輪廓測量、非接觸式光學臨界尺寸（CD）成像和非接觸式地形計量結合在一個自動化平臺中。該系統支持手動和自動掃描,允許測量和分析表面地形、晶粒尺寸、橫截面輪廓、晶圓形狀、邊緣斜角、叠加和顯微圖數據。KLA Alpha Step 100有多種表面輪廓測量選項,包括接觸掃描、非接觸跟蹤、應力緩解測量和層狀成像。接觸掃描模式通過直接接觸測量樣品的表面，而非接觸跟蹤模式獲取高分辨率的表面輪廓而不直接接觸。此外,應力緩解選項可精確測量受熱、機械或化學處理的樣品中應力誘導的形狀變化。層狀成像模式使用戶能夠測量鋁材料中的粒度分布，而各向異性測量模式則提供各種表面條件下各向異性的測量。對於光學CD成像，TENCOR Alpha Step 100具有多個軟件包，如Metrotool、Wafertool、Spyglass和Lottolkit。這些功能可以對過程特征（如閘門幾何形狀、線條和空間寬度、橫截面輪廓和叠加數據）進行非接觸成像。地形計量能力采用先進的非接觸技術，如幹涉測量、光學相幹斷層掃描（OCT）和共焦顯微鏡，以高分辨率測量樣品形狀和表面。該單元還提供自動檢測和測量邊緣斜角和其他復合特征。除了各種測量功能外，Alpha Step 100還提供了一系列自動化的數據處理功能，如用戶選擇的邊緣檢測、自動粒子分析、自動圖像縫合和拼貼以及假色重構。機器的自動掃描功能允許快速準確的數據收集，而直觀的控制軟件為用戶提供了對所有硬件和數據采集功能的輕松控制。總體而言，KLA/TENCOR Alpha Step 100工具為晶圓測試和計量目的提供了可靠和精確的測量。它是單點和多點研究的多用途、易於使用和經濟高效的資產。