二手 KLA / TENCOR Alpha Step 100 #9212962 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 100是KLA Corporation制造的晶圓測試和計量設備。該系統是一個全自動的模對數據庫晶片步進掃描單元，為先進半導體晶片在開發、制造和質量控制過程中的表征提供納米級精度。KLA Alpha Step 100具有超精確級和高級光學機器,可精確測量小至1nm的特性。此外，該工具使用固有的晶片級測量能力來捕獲整個晶片上的每個模具，其先進的跨平臺軟件使其能夠方便地訪問有關模具位置、產量、產量趨勢和特定性能數據的實時信息。資產還包括各種各樣的模具級測試，包括襯裏和平面變形、線寬位置、CD均勻性、線緣粗糙度和表面輪廓測量。利用步進掃描成像技術和各種光學技術，該模型能夠測量到0.15 μ米以下的特征尺寸。這使得TENCOR Alpha Step 100非常適合測量高度先進的全息磁帶、CCD、顯示器和其他結構的特性。此外，該設備的設計旨在為測試的材料提供極其準確的結果，增加生產時間和效率。健壯的設計還可以提高準確性並消除錯誤的讀數。這有助於確保晶片測試結果的質量最高。為確保最精確和可重復的測量結果,Alpha Step 100的設計采用安裝在花崗巖基座上的空氣承載臺,並結合工業級光學元件。該系統還包括直觀的用戶控制,例如上下文相關菜單和直觀的LCD顯示器,以便於使用和快速檢索數據。總體而言，KLA/TENCOR Alpha Step 100是一個精確、可靠、易於使用的晶圓測試和計量單元，為高級半導體晶圓的表征提供納米級精度。該機精度高、故障率低、設計健壯，非常適合研發、制造、質量控制等用途。