二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293588045 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一種晶圓測試和計量設備,旨在提供快速準確的數據,支持產品開發、過程監控和技術轉讓。該系統為矽、藍寶石、陶瓷等多種基板的串聯測試、過程控制和缺陷分類提供了前沿能力。Alpha Step 200包括兩臺雙束激光掃描儀，一臺位移級，一臺激光高度傳感器，一臺具有超高精度電動旋轉級的集成計量單元，以及一臺集成光學機器。這兩種雙光束激光掃描儀能夠精確測量表面和地下特征，如步高、特征邊緣和粗糙度。通過整個晶片的映射，這些特征可以在空間上定位和精確測量。位移級保證了激光光束在樣品上的精確導航，提供了精度和可重復性KLA ALPHASTEP 200。激光高度傳感器用於定義垂直（或掃描）軸，而集成計量工具包括高精度旋轉執行器和電動旋轉級提供樣品的連續3維分析。最後，集成光學資產提供了額外的靈活性和一套不同的分析技術，如透射光觀測、暗場成像、熒光成像等等。通過這一點，TENCOR ALPHA-STEP 200能夠提供樣品的深入表征，包括地形的高分辨率采集、缺陷檢測和成分分布。來自KLA的TENCOR Alpha Step 200為尋求可靠、準確和經濟高效的在線測試、過程控制和缺陷表征解決方案的用戶提供了出色的解決方案。雙束激光掃描、高精度電動旋轉級、綜合光學模型相結合，確保了過程監測、技術轉移、開發的快速、精確、綜合的效果。