二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293590192 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是為半導體制造工藝設計的晶圓測試和計量設備。它提供了用於故障分析、工藝優化開發和工藝控制的半導體基板關鍵尺寸和地形的精確測量。這種晶圓檢測系統利用非接觸式光學計量技術進行多種測量。它能夠測量橫跨晶片的CD（臨界維度），分辨率低至0.3 um。它使用幹涉測量技術來提供高度、表面粗糙度、CD均勻度和輪廓測量。此外,KLA ALPHASTEP 200是一個多通道單元,允許用戶在單個基板或多個基板上同時對各種測量進行排序。TENCOR ALPHA-STEP 200還具有高速、高精度的晶圓邊緣輪廓雙級自動掃描功能。這些測量被用於確定晶圓的平坦度、背面扭曲以及其他與晶圓邊緣相關的特性。此外,機器還能夠檢測晶片中的缺陷和異常,如顆粒、汙染物或其他違反工藝規則的特性。此功能對於故障分析和過程優化至關重要。KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200還配備了SmartAlign技術，在測量過程中自動定位和補償基板變形、錯位和偏置。這樣可以確保更高的測量精度和可重復性。再者，該工具可以存儲數千個測量程序，使用戶能夠在不同的測試序列之間快速、輕松地進行切換。ALPHASTEP 200包括一個用戶友好的晶圓檢查軟件包,有助於簡化工作流程。此軟件允許操作員控制、配置、分析和保存特定進程的測量數據。它還允許對結果進行可定制的報告和分析,從而深入了解生產過程的性能。KLA Alpha Step 200高度自動化,為操作員節省了時間。它設計用於全天候生產環境,即使在惡劣條件下也能提供可靠性和性能。其卓越的精度、多通道能力和SmartAlign技術使其成為半導體行業的理想解決方案。