二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293600510 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200晶圓測試和計量設備是一種自動化測試和分析系統，能夠測量半導體器件的電氣和物理性能。該單元利用差動幹涉對比度（DIC）顯微鏡和光學散射技術來測量一系列基板上的電氣、機械和結構性能。該機器還提供數據分析以檢測非均勻性，並能夠檢測單個設備的過早故障。KLA ALPHASTEP 200利用了SEM/ESEM、SEU、OBIRCH和EBIRCH等幾種不同的測試技術。SEM和ESEM是掃描電子顯微鏡技術，用於檢測表面、金屬和絕緣膜造成的電氣、機械和結構缺陷。SEU和OBIRCH是Scanning Electron Spectrometry technologies to analyses electrical and physical properties such as sheed電阻、層間電容和接觸電阻。EBIRCH（電子反向散射成像）用於檢測薄膜和缺陷的高分辨率圖像。TENCOR ALPHA-STEP 200利用大視場（FOV）,每個單位區域最多可測試8個樣本。這使得每個樣品的測量點濃度最高，吞吐量最高，均勻性最好。該工具能夠精確檢測到1微米以下的小缺陷。該資產還利用高靈敏度探測器，能夠檢測樣品特性因老化和環境影響而發生的微小變化。KLA Alpha Step 200具有支持缺陷分析和可視化的高級成像工具。該模型具有自動圖像縫合算法，允許從單個圖像創建大面積地圖。該設備還利用強大的數據分析工具，如橫截面測量、統計、計算指數和延時測量。這些提供了半導體和電介質的自動缺陷結果。該系統非常適合檢測產量或工藝變化，測量包括表面地形、薄膜和電氣特性在內的物理特性。在要求最苛刻的生產環境中,該設備的堅固運行和最佳吞吐量使其成為提高產量的理想選擇。