二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293602539 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一種晶圓測試和計量設備。用於測量微電子和光電元件的臨界尺寸、粗糙度和層厚。該系統能夠進行光學和X射線分析，並利用自動晶圓映射和全面的晶圓缺陷分析。其Quantum （4D）光學反射計結合了偏振、光譜和角度掃描，提供了最大的靈活性和覆蓋範圍。其X射線單元使用可伸縮的雙軸龍門，快速準確地收集高分辨率測量。KLA ALPHASTEP 200旨在通過提供多種元素收集方法的信息來減少分析時間和相關成本。它可以分析各種晶圓形狀，從圓形到難以進入梯形，也能夠一次收集關鍵的多層信息。此外,它的自動聚焦和縮放在光學上進行調整,以獲取滿足客戶規格要求的數據。TENCOR ALPHA-STEP 200的臨界尺寸（CD）測量可以用光學或X射線進行。光學選項使用寬範圍的放大倍率和可變的照明方向,而X射線選項則使用可擴展的兩軸龍門結構,該結構在晶圓表面動態移動。X-Ray機器有助於實現2-10nm的精度,並且可以測量到0.2µm以下的特征。它還可以解決低至5nm的特征壁的高度差異。KLA/TENCOR ALPHASTEP 200還能夠進行原位層厚度（LT）測量。此功能用於防止層相聲、變色以及其他設備可靠性問題。此外,其粗糙度（R）圖特征使用光學或X射線工具來測量晶圓表面上的平均峰谷粗糙度。總體而言，ALPHA-STEP 200是用於微電子和光電元件的先進晶圓測試和計量資產。它結合了光學和X射線分析,提供了一系列準確而全面的功能。它的自動化功能和全面的缺陷分析有助於降低成本,並提供卓越的過程理解,從而實現高質量、可靠的產品。