二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293644262 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一種綜合性晶圓測試和計量設備，旨在為用戶提供晶圓質量分析、表征和優化的最高精度。該系統是第一個能夠同時監測、成像和測量各種基板上的各種特性的系統。它提供了多種視圖模式,用戶可以使用單個成像平臺檢查、測量和分析基板的不同方面。該設備裝備精良，具有自動化的高端功能，能夠進行廣泛的晶圓計量操作。它有三種成像模式：激光線掃描（LLS）能夠實現表面地形映射；傅立葉變換紅外光譜（FTIR）允許高度詳細的晶圓組成分析；White Light Interferometry提供3D成像以實現納米級分辨率成像和測量。高級測量功能（如「焦點變化」（Focus Variation）和「現場調整焦點」（On-spot Adjust Focus）允許表征晶片表面的應力和步長測量。此外，機器提供了一系列的質量控制算法和報告功能，以幫助用戶監測和提高他們的基材的質量。該工具操作效率高、精度高,能夠實現5nm及以下的像素間距。它還提供了廣泛的動態範圍設置,使用戶能夠最大化其結果並準確跟蹤其生產產量。該資產具有卓越的測量精度和精確度，這得益於其混合成像技術和強大的硬件體系結構。諸如對比度增強邊緣分析（CEEA）和焦點計量（Cocus Metrology）等高端工具增強了模型的計量能力,同時提供了出色的性能。此外,先進的自校準自動對焦有助於在不同晶片上提供準確的結果。該設備設計為用戶友好且易於使用,具有簡單、直觀的圖形用戶界面,可引導用戶完成操作的每一步。自動檢查設置和掃描模式選擇等多種內置功能可幫助用戶節省時間和精力。此外,系統還提供了一系列可視化工具,包括等高線圖和晶圓的三維等高線圖,以幫助用戶比較不同基板的性能。總體而言,KLA ALPHASTEP 200是尋求高效、準確且功能強大的晶圓測試和計量解決方案的用戶的理想設備。該機器具有強大的特性和功能，非常適合廣泛的晶圓測試和計量應用。