二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293652814 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一種精密的晶圓測試和計量設備，其設計目的是對一系列半導體材料進行快速而準確的測試。該系統是一個全自動解決方案,為晶片的直接物理和化學分析提供了全面的參數,包括平坦度和表面地形、溝槽深度、IC角邊倒角和輪廓、覆蓋、側壁角度、外形尺寸和邊緣粗糙度。KLA ALPHASTEP 200圍繞自動化x-y級構建,利用表面點分析精確測量晶圓材料的物理和電氣特性。因此,它在各種工業過程中提供晶片的全面測試,確保產品滿足要求,並能夠快速安全地交付。TENCOR ALPHA-STEP 200提供兩種傳感系統-光學和壓電。其光學單元是具有先進磁性和激光技術的創新三波長傳感器；從而可以精確地表征側壁層輪廓、溝槽邊倒角、外形尺寸、線寬等重要幾何形狀和邊緣粗糙度。第二傳感機Piezo使KLA ALPHA-STEP 200能夠分析晶圓微結構。利用空氣承載表面捕捉小表面特征，該工具能夠檢測各種特征，包括覆蓋精度、線條、寬度和規則空心。此外,它還可以測試板材電阻、接觸電阻和接頭深度等電氣特性.TENCOR Alpha Step 200還提供了一系列自動化功能，使用戶能夠快速評估和分析晶圓。資產包括模式識別算法，可以自動定位缺陷，分析其位置，指示其位置和類別，並啟動適當的糾正行動。此外，該模型還提供了一個測試數據庫，可以與測試材料進行比較，以確保測試材料符合規範。這可以幫助用戶更快地獲得準確的結果,從而為他們節省時間和金錢。綜上所述，TENCOR ALPHASTEP 200是一種功能強大的晶圓測試和計量設備，為晶圓材料的直接理化分析提供了全面的參數。該系統具有兩個先進的傳感系統和一系列自動化功能,使用戶能夠快速評估和分析各種工業流程,以確保產品認證和安全交付。