二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293746497 待售
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KLA/TENCOR Alpha Step 200晶圓測試計量設備是一個高性能計量平臺，用於精確尺寸計量、表面光潔度分析和定性電氣測量。該系統旨在提供納米精度的計量數據，非常適合半導體生產、器件表征和工藝優化。KLA ALPHASTEP 200利用激光幹涉測量技術對包括臨界尺寸在內的微觀結構的表面特征和特征進行高精度測量。該裝置分辨率高達10倍，能夠分析40 nm至100 µm之間的結構。它還可以實現高達6平方厘米/秒的極快掃描速度-比傳統光學技術快得多。TENCOR ALPHA-STEP 200還執行氧化深度和蝕刻深度測量、泄漏電流、接觸電阻和Moire測量等定性電氣測量。此外，機器提供多種測量模式，包括RMS和峰谷。所有數據都存儲在其大容量硬盤上,以便於分析和共享。TENCOR ALPHASTEP 200無縫集成到復雜的生產環境中,提供了性能、準確性、可重復性和易用性的無與倫比的組合。它采用直觀的用戶界面和自動工具（如配方創建和數據歸檔）進行設計。此外，直接從階梯式探頭獲得的各種測量技術提供了極其精確的晶圓級測量。總而言之，ALPHASTEP 200提供了高性能計量、精確測量和靈活軟件的超強組合。此工具對於生產環境特別有用,因為它提供了測量速度、精度和可重復性的無與倫比的組合。
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