二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293792665 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一種晶圓測試和計量設備，設計用於測量晶圓表面的輪廓、平坦度和步進高度。利用共焦成像和激光三角測量技術對晶圓的輪廓和高度進行精確的測量。該系統的激光器具有高達200 µm的步進能力，使其能夠精確測量細表面特征和小步進高度。KLA ALPHASTEP 200有一個電動線性步進器，它沿著z軸移動晶片，確保激光精確移動到晶片表面的平面。通過測量激光相對於表面的位置，單位可以映射晶片前後兩側的輪廓。此外,它還可以測量晶片上以及多個模具上厚度和平整度的變化。TENCOR ALPHA-STEP 200還包括一個專利極化特征，它可以同時測量晶圓的兩側。這增加了吞吐量並提高了機器的準確性。此外，該工具包括先進的模式識別和修復算法，以確保精確測量具有挑戰性的材料。ALPHASTEP 200具有用戶友好的觸摸屏界面，使用戶能夠快速、輕松地設置測試參數並監控測試過程。此外,它還與KLA METboard軟件兼容,KLA METboard軟件使用戶能夠可視化測試結果、存儲數據和生成報告。這樣可以確保用戶快速解釋和分析測試結果。總體而言，KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200是一種可靠、準確的晶圓測試和計量資產。其快速的激光步長和模式識別能力，結合用戶友好的界面和先進的軟件，使其成為測量半導體晶片輪廓、平坦度和步高的理想工具。