二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293792691 待售

ID: 293792691
Surface profiler.
KLA/TENCOR Alpha Step 200是一種先進的晶圓測試和計量設備,設計用於生產級測試和分析微電子器件和電路。該系統提供了廣泛的晶圓、模具和薄膜表征、模具連接和翻轉芯片鍵合檢測以及缺陷審查的集成功能。KLA ALPHASTEP 200利用照明激光掃描顯微鏡捕獲樣品表面的高分辨率圖像。分析這些圖像以捕獲關鍵指標,如表面應變、步高、粗糙度和缺陷特性。集成缺陷審查功能利用專用軟件對晶圓表面的特征進行準確的定位和分類,並識別設備制造或裝配中的潛在缺陷。除了成像功能外,TENCOR ALPHA-STEP 200還包含幾種高級計量工具,可提供精確的物理特性。它具有一個滑動表面剖面儀,可提供樣品高度、表面映射和晶圓表面應力的3D測量。所包括的介電常量測量單位用於測量薄膜介電層的厚度。KLA/TENCOR ALPHASTEP 200還包含一個專門的鍵檢查功能。這允許超高分辨率成像焊料模具連接和翻轉芯片結合元件。粘結檢測機設計用於檢測粘結過程中的橋接、排空、錯位等缺陷,有助於防止代價高昂的返工或報廢。KLA ALPHA-STEP 200是一個通用平臺,用於半導體器件和元件的生產測試和表征。它提供可靠、準確的測量和成像能力,以及缺陷審查和粘結檢查功能,以進行全面的晶圓分析。該工具能夠分析直徑不超過200毫米的晶片和測量尺寸不超過25納米的特征。該資產還能夠每小時掃描多達1600個模具,從而實現快速的在線測試和缺陷審查。總體而言,TENCOR ALPHASTEP 200是生產級測試、分析、優化微電子器件和電路的強大工具。
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