二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293817499 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一種先進的晶圓測試和計量設備，旨在幫助提高設備制造的效率和產量。該系統旨在提供構建和測試晶圓樣品所需測量的完整覆蓋，包括總電容、擊穿電壓、介電常數和電阻率等電氣特性。它還提供了介電厚度、表面地形和柵極氧化物厚度的綜合表征。該單元由一個主單元組成，它容納了先進的光學和掃描電子顯微鏡（SEM）能力，以及集成的數據分析工具。KLA ALPHASTEP 200采用非接觸、無破壞性的光學表面表征，可以測量晶片的介電厚度、表面地形和柵極氧化物厚度，而不會造成損壞。復雜的SEM功能,加上強大的圖像分析和測量功能,可以快速識別和表征缺陷。該機器還包括自動化晶圓計量和晶圓探測等高級自動化功能。可以使用多個探針卡,自動任務排序功能消除了手動編程的需要,並消除了操作員與操作員之間的差異。TENCOR ALPHA-STEP 200也可以定制，具有特殊的預規劃和後處理功能。設計了一套綜合的測量類型，可與先進的表征技術配合使用，以各種參數精確測量晶圓。該工具設計了一整套軟件組件,以實現晶圓的測量、分析和報告。自動晶圓映射、模式識別和數據管理功能可實現高效、準確的晶圓分析。此外,ALPHA-STEP 200可以與其他KLA產品和流程集成,以創建一個整體資產,它可以從頭到尾提供完整的表征解決方案。總之，KLA ALPHA-STEP 200是晶圓測試和計量的一個強大而有效的模型。它提供了設備制造所需測量的完整範圍，包括電氣、光學和掃描電子微觀特征。自動晶圓計量和晶圓探測功能使KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200成為高產晶圓生產的理想解決方案。此外,其功能強大的軟件工具可實現高效的晶圓分析、數據管理和報告。