二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293827697 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一種晶圓測試和計量設備，旨在提供快速可靠的晶圓表面測量。具體而言，KLA ALPHASTEP 200提供了對各種材料和特征的精確地形特征，包括小至3.5nm的缺陷和特征。TENCOR ALPHA-STEP 200由幾個關鍵組件組成：基於反射計的掃描頭單元、垂直定位系統、樣品安裝和控制臺。垂直定位單元允許精確調整掃描頭單元。這對於實現精確測量非常重要，因為頭部單元必須在晶圓表面的微米範圍內才能準確評估地形特征。掃描頭單元由用於檢測樣品表面地形信息的光學傳感器陣列組成。當設備在樣品表面上移動時,光學傳感器將信息發送到控制控制臺,控制臺會實時記錄表面特性。然後將數據轉換為3維圖像，便於分析和解讀。樣品安裝用於固定樣品,當掃描頭越過樣品時將樣品保持在適當位置。安裝件通常由真空卡盤組成,允許測試各種樣本量和形狀。最後使用控制臺控制Alpha Step 200的操作。它提供了一個用戶友好的界面，用於設置機器，協調掃描和測量過程，以及收集和分析得到的數據。簡而言之，ALPHASTEP 200對於任何希望快速準確地測量和分析晶片表面特征的人來說都是一個無價的工具。它設計靈活,功能準確,是一種強大可靠的晶圓測試工具。