二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9012731 待售
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ID: 9012731
Surface profiler
Model number: 10-02000
Programmable X-Y stage
Video monitor, 9"
Motorized and manual stage
(3) Operating modes:
Manual
Semiautomatic
Automatic
Scanning stylus: 12.5 Micron radius
Zoom video microscope: 40x to 120x Magnification
Vertical resolution: 5 Angstrom (With ±160 k angstrom range, 5 nm with ±160 micro-meter range)
Vertical sensitivity: Measures even smallest steps, 20 to 50 angstrom
Horizontal resolution: 400 Angstrom
Tracking force: User adjustable, 1 to 25 mg
Maximum sample dimensions: 16.5 mm thickness, 162 mm diameter
Power requirements: 90-130 VAC, 50/60 Hz, 120 VA max.
KLA/TENCOR Alpha Step 200是一種晶圓測試和計量設備,設計用於測量和分析半導體晶圓的關鍵參數。該系統采用了一種專有的光學對比度技術,便於檢查具有多種基材和塗層的樣品。KLA ALPHASTEP 200提供了一種無損分析半導體晶片表面各種地形特征的方法。它可以測量表面輪廓、表面紋理、蝕刻坑密度和臨界尺寸,以及表面平面度和光學紋理。利用高速線掃描圖像處理單元檢測和定位晶片表面的缺陷。晶圓可以在手動或自動模式下以高精度測量,從而對表面進行可靠和可重復的分析。TENCOR ALPHA-STEP 200還包括高級自動化測量和分析軟件,提供了結果的詳細報告。軟件可以分析數據並提供結果的圖形表示和整個樣本的統計分析。機器高度靈活,允許用戶定制每一個測量的性能和參數。模塊化設計可以方便地安裝和集成到現有的生產或實驗室環境中。TENCOR ALPHASTEP 200也具有很高的吞吐量,允許200個晶圓在典型的8小時輪班中進行測試。TENCOR Alpha Step 200旨在滿足嚴格的行業標準,為各種復雜的應用程序提供準確、可重復和可靠的結果。該工具提供卓越的精度、高精度和低噪聲級別。該資產是為實驗室、生產和研發用途以及教育目的而設計的。綜上所述,KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200是一種功能強大、用途廣泛的晶圓測試和計量模型,旨在對各種基材和塗層進行高度精確和可靠的測量。設備高度可配置,允許用戶根據自己的特定要求自定義其性能和參數。該系統還包括先進的自動化測量和分析軟件,提供詳細和準確的結果。KLA ALPHA-STEP 200旨在滿足嚴格的行業標準,提供高度可重復和可靠的結果。
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