二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9124963 待售
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ID: 9124963
Profilometer vertical measurement system
Ranges: auto ranging up to +/- 160 KA or 160 um –20 to 50 A,
Resolution: Vertical: 5A with +/- 160 KA 400 A
Stylus radius standard: 12.5 um or 5.0 um
Stylus tracking force adjustable between 1 and 25 mg
Precision X-Y stage X-Axis 100 mm Y-Axis 81 mm Z-Axis 21 mm
Largest sample size 162 mm.
KLA/TENCOR Alpha Step 200是為半導體制造而設計的先進晶圓測試和計量設備。KLA ALPHASTEP 200具有精確度和精確度、集成自動化以及廣泛的數據分析功能,提供了業界領先的分析功能,制造商需要這些分析功能才能在各種過程中保持設備的最高質量。TENCOR ALPHA-STEP 200包含了一個詳細的晶圓圖,可以讓它準確地測量微小的特徵或複雜的缺陷,可以用來快速識別和修正生產錯誤。TENCOR ALPHASTEP 200具有雙軸、雙位置的三維級,允許它同時查看、移動和掃描晶圓。舞臺的精度和精確度非常適合測量小特征、缺陷和其他特性。Stage還能夠進行高速CMP測量,這對於檢測晶圓表面的微小變化非常有用。KLA/TENCOR ALPHASTEP 200還包括一個高分辨率成像系統,可以對晶圓的大面積進行精確分析。此外,該單元使用新穎的深度學習算法自動識別和分類不同類型的缺陷。KLA ALPHA-STEP 200還包括一套全面的軟件,使高級數據分析和控制功能成為可能。軟件包括功能強大的校準工具,允許用戶在保持精確結果的同時調整晶圓測試和計量操作設置。ALPHASTEP 200生成的數據可用於跟蹤生產趨勢和優化生產流程。此外,軟件還可以生成詳細的報告和圖形,用於進一步分析數據和確定制造問題。總體而言,ALPHA-STEP 200是一種最先進的晶圓測試和計量機器。其精確、準確的定位和成像系統,以及廣泛的軟件功能,使其對於在各種流程中維護高質量的設備至關重要。此外,該工具的詳細晶圓圖、自動缺陷檢測和分類以及高級報告功能使制造商能夠快速識別和解決生產問題。
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