二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9253861 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一種自動化晶圓測試和計量設備，設計用於非接觸面和計量分析。該系統以自動晶圓處理單元、AFM（原子力顯微鏡）模塊、光學模塊和軟件運行。自動晶片處理機設計用於處理直徑達200毫米的晶片，采用機械臂機構和自動聚焦工具。這使得它適用於範圍廣泛的晶圓尺寸和材料。AFM模塊用於晶圓的表面分析以及3D成像和映射。它由一個由電機驅動的兩軸級組成，具有集成的顯微鏡和控制器。此模塊可實現高分辨率和高精度的精密表面測量。光學模塊是為接觸和非接觸表面分析而設計的，其中還集成了高分辨率成像資產。具有測量薄膜厚度、表面粗糙度和石英晶體微平衡等各種計量參數的能力。該模型還可以進行共聚焦顯微鏡和暗場顯微鏡等分析和光學測量技術。與設備關聯的軟件使用戶可以訪問功能強大的圖像分析、報告和數據庫功能。它提供了幾種適合不同應用和使用的測量模式。能夠選擇軟件參數，如分辨率、采樣面積、速度和對比度選項，使得這個系統非常通用。總共，KLA ALPHASTEP 200為用戶提供了一個可靠準確的晶圓測試和計量單元。它結合了自動晶圓處理、AFM模塊、光學模塊和功能強大的軟件,使用戶能夠執行廣泛的測試,包括表面分析、3 D成像、化學表征和薄膜測量。這臺機器既適用於研究，也適用於工業層面的應用，使其成為任何一個希望進行精確晶圓計量的實驗室的絕佳選擇。