二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9289904 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一種晶圓測試和計量設備，專門設計用於表征晶圓和器件結構在納米尺度上的特性。該系統采用掃描電子顯微鏡（SEM）、原子力顯微鏡（AFM）和表面剖面技術的組合運行。該單元具有高分辨率的單色成像機,具有可靠的設計,可提供可靠和一致的圖像質量。成像工具包括60kV二次電子檢測器和光學SIM、SEM、SEM/AFM等多種成像模式。利用高效的EDS檢測器，提供優異的靈敏度、優異的空間分辨率和快速的X射線光譜無源多通道采集，分析晶圓的組成。該資產提供了一個自動化和用戶定義的樣本導航模型，允許對晶圓進行快速、非接觸式成像。它還具有高速、多軸自動對焦設備,無需用戶幹預即可實現高度精確和可重復的成像。該系統允許為各種類型的測量自動選擇成像參數，並允許與KLA Spectra和Polarimetric晶圓分析儀完全集成。KLA ALPHASTEP 200提供了許多其他功能,旨在改進晶圓特性。它提供了一個亞納米參數數據處理單元，可以提高測量精度以及自動晶圓分析。該機還能夠優化光譜采集、存儲和可視化。此外,該工具還包括用於分析數據、確定可重復性以及允許與其他系統快速共享結果的處理器和軟件包。TENCOR ALPHA-STEP 200符合SEMI、PIES和Imec等行業標準,使其成為一系列應用程序的理想選擇。憑借其強大的設計和先進的功能,該資產為納米級表征提供了強大的解決方案。