二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9315702 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200晶圓測試和計量設備旨在為各種半導體和MEMS應用提供高度精確和可靠的測量。KLA ALPHASTEP 200使用支持KLA Advanced Vision軟件的算法和光學系統,以緊湊、易於使用的軟件包提供無與倫比的準確性和速度。該系統采用專利的非接觸式晶片檢測方法，能夠快速可靠地測量臨界尺寸（CD）和覆蓋標記偏移等關鍵參數，以及表面處理晶片的時空響應。TENCOR ALPHA-STEP 200采用集成電荷耦合器件（CCD）檢測器和安裝在精密轉盤上的多個檢測器來提供大視野。此外，該單元還配備了高數值孔徑（NA）光學設計，同時提供多波長和多晶體照明。先進的視覺算法使機器能夠以極高的分辨率檢測和辨別模式，測量精度達到0.5納米。這樣可以對薄膜表面和厚膜表面進行可靠和精確的測量,並使該工具能夠更好地檢測和隔離結構特征,如光刻線、切口和尖角。該資產提供了廣泛的功能和選項,使其能夠量身定制以滿足一系列測試和計量需求。它包括用於控制掃描放大倍數、步長大小和字段大小的各種選項,以適應感興趣的大小區域。ALPHASTEP 200還配備了一系列軟件控制的自動化功能，能夠實現高吞吐量和高效的測試。綜上所述，TENCOR ALPHASTEP 200晶圓測試和計量模型是為快速、可靠地測量半導體和MEMS應用中的關鍵參數和結構特征而設計的，提供了前所未有的精度和速度水平。支持高級視覺軟件的算法和高分辨率CCD檢測器使設備能夠可靠地檢測和識別亞微米級的模式,並實現了高通量和高效測試的自動化。