二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9363076 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一種晶圓測試和計量設備，能夠精確有效地測量半導體晶圓上的納米機械性能。該系統具有多種高級功能,使其具有很高的準確性和可靠性。KLA ALPHASTEP 200帶有水平（x軸和y軸）和垂直（z軸）步進掃描儀,使測試表面與測量頭和晶圓精確且可重復對齊。這樣可確保準確測量地形、關鍵尺寸和曲面拓撲。它使用兩個掃描階段，一個用於測試頭，一個用於晶圓。這對於高精度地捕捉細微細節（如納米特征）非常有用。TENCOR ALPHA-STEP 200還包括一個獨特的光學正方形偏移對準單元，它將光學正方形的可配置性與自動級相結合，導致了比手動方法精確得多的對準。這種提高的精度導致圖像更清晰,然後可以對其進行分析以提取曲面特征的完整3 D映射。該機配備了幾種圖像采集能力，包括標準的亮場成像、背光明場、暗場成像。這允許精確測量曲面拓撲和其他特征,例如步高和側壁角。該工具具有+/-30 µm的廣泛動態範圍，方便地迎合各種晶圓尺寸和幾何形狀。ALPHA-STEP 200還有幾個軟件工具，如SigmaPlot，允許對圖像和數據進行快速而精確的分析。該軟件為圖像處理、圖像過濾和圖像比較提供了易於使用的工具。這個功能強大的軟件套件大大簡化了數據評估和分析。該資產設計緊湊、高效，能夠長時間無人值守運行，是晶圓測量應用的理想解決方案。該模型設計可靠，著重重復性。TENCOR ALPHASTEP 200精度高，提供納米精度，是精確晶圓測試和計量的絕佳選擇。