二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9398835 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是專門為高性能IC材料表征而開發的晶圓測試和計量設備。該系統的兩階段成像體系結構結合了增強的自動化計量和缺陷檢查功能,從而能夠量化過程變化。它為客戶提供實時可見性和改進的缺陷臨界度量標準,以快速識別缺陷的來源並減少根本原因分析時間。KLA ALPHASTEP 200具有業界首個高達1000倍的晶片放大倍率,允許捕獲詳細的表面信息。這種放大允許小尺度變量的可視化，允許對光刻過程進行深入分析。憑借其先進的成像平臺和軟件套件，TENCOR ALPHA-STEP 200可以用傳統方法檢測和量化無法測量的變量。該設備的自動化計量軟件套件結合了專利成像功能,能夠對晶片或單個晶片站點進行定量2D分析。該軟件強大的算法和自動化的測量系統允許精確的缺陷檢測和自動化的測量，即使在積極放置結構。KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200獨有的專利晶圓鑲嵌功能為用戶提供了整個模具區域的連續圖像。這樣就可以詳細了解諸如電子束檢查和3 D CMP平整等應用程序。這也為用戶在決定如何優化流程時提供了更多信息。KLA Alpha Step 200旨在提高操作員的工作效率和易用性。該機器可與其他軟件和硬件系統集成,並結合基於模板和基於圖像的分析的通過/失敗標準。用戶友好的軟件包還為客戶提供了一個直觀、易於使用的環境,從而能夠快速高效地培訓人員。當Alpha Step 200與其廣泛的軟件、附件和圖像分析工具組合使用時,它為客戶提供了一個功能極其強大的IC計量和缺陷檢查工具。客戶得益於其測量小規模變量的能力,同時還可以訪問全面的自動化計量數據。該工具具有前所未有的放大倍率和缺陷檢測功能,使其成為尋求快速識別和解決工藝變化的半導體制造商的理想選擇。