二手 KLA / TENCOR Alpha Step 250 #293812642 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 250是一種光學剖面儀，是一種高精度、大面積的計量和晶圓測試設備。它用於2-D制圖、測量和分析大面積（高達25毫米2）晶片，如通過光刻、蝕刻和沈積工藝制造的晶片。KLA Alpha Step 250使用先進的非接觸式光學技術,利用自動對焦雙頭配置,對晶片進行高精度和高精度的地形測量。該設備配備了電動XYZ掃描儀和集成的自適應光學器件，以提供高度穩定的測量和自動晶圓映射。此外，其雙頭顯微鏡配置能夠同時進行雙波長測量，允許用戶定義的納米分辨率特性。該系統由一個高性能控制器平臺控制，該平臺包括一個為方便設置和高效操作而優化的直觀用戶界面。此平臺支持高通量操作,可實現快速高效的晶圓映射和重復測試或測量。它從XYZ掃描儀進行高速數據采集和處理，提供實時分析和精細成像，以更快的計量分析。TENCOR Alpha Step 250也能夠提供3-D表面重建，以進行更深入的分析。它還可以測量輪廓參數,例如高度、寬度和半徑。設備的高級光學配置還允許進行單垂直側壁測量,這適用於特定於邊緣的測量。最後,Alpha Step 250可在實驗室和晶圓晶圓環境中提供可靠且可重復的性能。自動校準協議可確保機器提供準確的結果,而其強大的設計可確保即使在惡劣的環境條件下也能進行可靠且無故障的操作。