二手 KLA / TENCOR Alpha Step 250 #9284473 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 250晶圓測試和計量設備對半導體晶圓上的集成電路（IC）結構和工藝層提供超快速和精確的測量。它配備了非接觸式白光幹涉儀，利用先進的光學技術來測量表面特性，例如半導體晶片從微米到埃尺度的地形和粗糙度。該系統還支持其他計量技術，如集成聚焦離子束（FIB）和電離物質傳輸（TIS）技術，以便對器層和電路結構進行精確測量。該單元非常可靠,對於直徑達200 mm的晶片,總測試可重復性誤差（TRRE）低於4%。利用KLA Alpha Step 250，晶圓測量可以以線速進行，最大吞吐量為每小時150個晶圓，增強圖像處理速度為10 us/像素。其內置的深度學習算法可實現準確高效的測量，而其智能層識別則可在後處理過程中識別層和過程。TENCOR Alpha Step 250提供了全面的測量數據能力，包括掃描電鏡（SEM）、I-V測試和參數提取。此外,它在25至85°C之間的寬廣工作溫度範圍允許機器在各種環境條件下工作。它內置的板載自動化功能可在連續和自動化的流程中實現頂部表面成像和缺陷檢查。Alpha Step 250也是用戶友好且易於配置的，使得它可以針對各種應用進行定制。它支持多種後處理工具，如用於自動地形特征提取的基於圖形的算法，用於基於缺陷分類分析的非參數統計方法，以及便於審查晶圓數據的可視化技術。該平臺還提供了直觀的基於Web的用戶界面，使用戶可以從任何遠程位置輕松控制、監視和配置該工具。KLA/TENCOR Alpha Step 250是最先進、最精確的晶圓測試和計量系統之一。它具有高精度掃描、提高速度和多用途後處理工具，是晶圓測試應用的絕佳選擇。