二手 KLA / TENCOR Alpha Step 300 #140855 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 300晶圓測試和計量設備是半導體工業中用來測試半導體芯片性能和質量的自動化測量工具。它對臨界參數（如步高、表面粗糙度、圖案、線寬和長寬比）提供精確、可重復的測量。該系統使用幹涉儀記錄晶圓的輪廓，如果在高達300毫米的測量範圍內，其精度為0.5納米。這允許用戶檢測晶片形狀的非常小的變化，這會對成品的質量產生深遠的影響。KLA Alpha Step 300還具有自動模式識別功能,可精確測量模式,包括精確的位置和大小。板載光學顯微鏡為操作員提供了直接查看晶圓表面的增強能力。此外,自動化的軟件工具還可以高精度地測量和分析大量數據。該設備能夠測量每小時多達200個樣本,並配備了數據存儲和報告功能,可隨時間推移輕松跟蹤性能。TENCOR ALPHASTEP 300提供了一系列可選組件,以增強機器的性能和功能。可選的高速大視野線性掃描儀可將吞吐量速度提高到每小時500個樣本。智能遠程中心工具可自動將樣品調整到光頭,從而消除手動設置並提高吞吐量。一個獨特的超聲波換能器選項允許測量不均勻間隔的結構和多級結構的表征。ALPHASTEP 300晶圓測試和計量資產是一種自動測量工具，旨在提供精確、可重復的關鍵參數測量。它使用簡單、堅固可靠，能夠以0.5納米的精度每小時測量數百個樣品。一系列可選組件進一步增強了模型的性能和功能,使其成為尋求確保產品最高質量控制和性能水平的半導體制造商的理想選擇。