二手 KLA / TENCOR Alpha Step 300 #9162861 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 300是一種用於半導體器件制造的晶圓測試和計量設備。KLA Alpha Step 300是一種在「亮場倒置顯微鏡」配置中運行的檢查工具,提供多種功能,使用戶能夠優化性能和測量速度。Alpha Step可提供業界領先的0.5 μ m分辨率的檢查,並具有自動聚焦監控、噪聲和缺陷抑制功能,從而能夠可靠地分析高長寬比材料,如碳納米管和MEMS設備。先進的光子計數技術和先進的光子計數分裂光束技術即使在暗場環境下也能確保準確和可重復的結果。Alpha Step采用了石英上鉻的專有配置,與傳統的Baumeister光學相比具有優勢。這樣可以實現更快、更高質量的成像,並提高批量生產的吞吐量。除了傳統的2D測量之外,系統還可以執行3D測量以獲得更準確的結果。它還被設計用來測量「FinFET」晶體管，用於最新的制造工藝。TENCOR ALPHASTEP 300是晶圓級缺陷計量以及產量監測的理想選擇。它為高級實時缺陷分析、大小確定和關鍵參數映射提供了廣泛的頻率範圍支持。自動聲框分析有助於精確測量薄膜厚度。該單元具有不同級別的高級自動化功能,例如前端示例加載,以滿足大批量生產環境的需求。對於特定的應用，ALPHASTEP 300可以與高級計量系統集成，例如他們的WaferMapper和ReticleMapper自動掃描系統。這樣可以實現相關和自動化的數據收集,並提供更高的吞吐量、更好的準確性和改進的缺陷解決方法。KLA ALPHASTEP 300還為客戶提供了一個通用的晶片處理接口,用於加載不同音高和大小的晶片,並增加了一個拉推特性的好處,該特性允許在加載和卸載過程中對樣品表面施加均勻的壓力和溫度。總體而言,TENCOR Alpha Step 300是一臺可靠且易於使用的晶圓測試和計量機器,可實現準確且可重復的高通量測量,適用於小型和大型項目。