二手 KLA / TENCOR Alpha Step 300 #9356929 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 300是一種晶圓測試和計量設備，旨在為光學檢查和計量需求提供最大生產力。該系統基於公司的五軸幹涉技術，允許用戶在單程測量中捕獲和量化尺寸和地形表面數據。KLA Alpha Step 300能夠每秒測量多達50個局部點,可提供1nm的精度和可重復性,用於詳細的表面測量。該單元非常適合半導體行業的應用，如表面地形表征、光刻鑒定和缺陷評估。該機器能夠快速測量表面平坦度、粗糙度和線寬。TENCOR ALPHASTEP 300具有集成的激光和優化的光學設計,以及直觀的用戶界面和強大的基於PC的體系結構。該工具能夠處理最新的先進基板，包括Si、GaAs和矽復合材料。KLA/TENCOR ALPHASTEP 300提供了廣泛的功能,包括3D映射、多攝像頭配置、自動測量以及集成的質量保證資產。該模型還能夠測量結構，包括電路線路、顛簸和其他微觀特征。KLA ALPHASTEP 300具有很高的精度和可重復性,能夠對關鍵的光掩模特性（如圖案同心度和大小）進行可靠的測量。該設備通過與KLA排泄性和叠加算法緊密集成，設計為最大限度的過程控制和可重復性。結合公司先進的軟件，ALPHASTEP 300幫助半導體制造商確保產量和質量性能。該系統與公司廣泛的計量解決方案完全兼容，如Contura™和Actura™晶圓測試和計量系統。Alpha Step 300直觀、易於使用的界面和強大的體系結構使其成為業界領先的晶圓測試和計量需求解決方案。通過其先進的光學和集成的質量保證單元，機器提供了無與倫比的準確性和可重復性，使用戶獲得了晶圓級檢查、缺陷審查等應用的高度準確可靠的結果。