二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #180058 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是為優化半導體制造過程控制而設計的晶圓測量和計量設備。它能快速測量晶片在生產和研發環境中的關鍵地形和器件特性。KLA Alpha Step 500具有亞納米精度、模式識別速度快以及測量各種晶圓材料的靈活性。它還具有可以設置的自動化任務,允許輕松可靠的操作。創新的「每步一步」技術利用壓電驅動懸臂作為掃描頭來測量鋁單層的地形和裝置特性。它可以以亞納米精度捕獲任意模式的輪廓，並跟蹤遷移步驟。此外,它的快速響應時間使用戶能夠快速量化表面粗糙度並分析輪廓趨勢。這允許對晶圓制造過程進行串聯監控。TENCOR ALPHASTEP 500可以測量各種其他半導體材料，如聚矽、復合半導體、III-V材料，以及金屬合金等不同類型的材料。這允許表征各種類型的晶圓。高效的電動機減少了跟蹤力，從而能夠測量任意的光學結構。這結合靈活的掃描區域，使得KLA/TENCOR ALPHASTEP 500適合各種晶圓大小和格式。TENCOR Alpha Step 500易與前沿工藝控制工具集成，包括高分辨率的納米級熱成像系統，這是監控溫度控制環境的關鍵組件。其高度先進的軟件工具使用戶能夠控制和分析從整個晶圓的測量中獲得的數據。它具有用戶友好的圖形用戶界面，允許簡單直觀的單元操作。KLA ALPHASTEP 500是一種功能強大且用途廣泛的晶圓測量和計量機器,即使在苛刻的生產環境中也能提供卓越而可靠的結果。它非常可靠，確保了精確的晶圓測量，並提供了滿足廣泛應用要求的靈活性。它提供了一種經濟高效、可靠且用戶友好的優化半導體制造過程控制的方法。