二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293660940 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是為最苛刻的晶圓測量和表征而設計的晶圓測試和計量設備。KLA Alpha Step 500提供高通量和精確的計量能力,非常適合半導體工藝開發、鑒定和生產。該系統具有安裝在可變舞臺上的雙軸透鏡,可靈活容納各種樣本量和類型。它配有成像板、16位數據采集單元和高分辨率直線電動機。TENCOR ALPHASTEP 500能夠測量最大8英寸晶圓的直徑。它提供自上而下和側視圖集成成像捕獲和邊緣檢測功能。其先進的信號處理技術，包括缺陷特征分析，用於準確識別晶圓表面或產品邊緣的缺陷。該單位用於測量材料的臨界尺寸、輪廓、叠加和厚度等參數。在自動化和軟件功能方面,該機器包括兩個用戶友好的軟件-用於圖像采集和缺陷圖像分析的Konica TM和用於數據采集、分析和顯示的Sigma Suite TM。該工具還提供實時直方圖、實時過程控制、數據趨勢、自定義報告生成以及按序列號進行跟蹤。Alpha Step 500具有一流的光學性能,並提供多種高級測量功能,包括全頻譜處理功能、高速數據處理、高分辨率垂直輪廓和測量、100 nm可重復性和快速Z高度可調性。此外,還根據IS09000和ESD標準對資產進行認證,以提高模型的可靠性和安全性。總體而言，KLA/TENCOR ALPHASTEP 500是一種先進的晶圓測試和計量設備，提供最先進的硬件和軟件功能。它提供了快速、準確和可靠的計量結果，使其適合各種半導體工藝和生產應用。