二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293665099 待售
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KLA/TENCOR Alpha Step 500是一種晶圓測試和計量設備,設計用於精確測量半導體工業中使用的薄晶圓的平整度、厚度和對齊度。該系統采用自動望遠鏡瞄準裝置,利用光學顯微鏡,測量晶圓的輪廓。這使機器能夠可靠地產生高度精確的電氣和運動計量結果。KLA Alpha Step 500包含一個由基於Windows的圖形用戶界面(GUI)提供支持的大型機,該大型機接收和管理來自該工具的所有數據。它提供了一個帶有液晶屏的面向外部的控制面板,使用戶能夠遠程控制資產。在其核心,主機由硬件如精密運動級,檢測燈,濾波器和線性刻度。運動級用於提供晶圓的高度精確和受控的運動,而光學顯微鏡則提供了觀察和測量晶圓較小特征的能力。這個主機與計算機視覺算法配對,從顯微鏡收集和評估數據。算法對數據進行解釋,並在將其提供給大型機進行進一步分析之前對其進行後處理。此分析可用於生成晶圓屬性的詳細報告。TENCOR ALPHASTEP 500提供的結果比傳統方法更快,具有很高的準確性和可重復性。此外,性價比高,操作維護方便。這使得它成為半導體行業晶圓測試和計量的理想選擇。
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