二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293794175 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是晶圓測試和計量的通用、精確的設備。該系統適用於半導體制造的廣泛應用，包括產量分析、工藝監測和器件表征。KLA Alpha Step 500以KLA AP932計量平臺為特色，其中包括最精確的Laser Interferometer profiler，提供高精度和重復性，以及與Laser Interferometer集成的AFM/SPM平臺。該平臺允許高精度叠加、橫截面和球面像差測量。此外，TENCOR ALPHASTEP 500包括先進的晶片逐晶圓對準控制，使其能夠容納大小和形狀各異的晶片。該裝置的機械精度和可靠性也保證了精確的測量結果。對於樣品準備,Alpha Step 500允許自動加載和卸載晶片,以及手動加載和卸載晶片。該機器配備了操作控制，例如樣品定心，以簡化樣品準備並確保準確的測量結果。此外,TENCOR Alpha Step 500提供了一系列內置分析工具,包括TENCOR專有的TOPSPIN膠片監控軟件。該軟件讀取來自薄膜堆棧各層的低級薄膜均勻性數據，為用戶提供深入的晶圓分析。KLA ALPHASTEP 500結合了嵌入式數據采集和解釋工具，允許用戶在資產的內部數據庫中保存數據。該數據庫使訪問歷史數據和簡化統計過程控制變得更加容易。在性能方面，KLA/TENCOR ALPHASTEP 500具有0.5nm的空間精度和0.04nm的均方根粗糙度。該模型還提供了較高的刷新率,在單個測量中提供了可重復的結果和可靠的自動化分析。ALPHASTEP 500是用於設備和過程監控的通用且功能強大的工具。其先進的功能、精確度和可靠性使其成為晶圓測試和計量應用的理想選擇。