二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293809046 待售

ID: 293809046
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR Alpha Step 500是專門為半導體晶片和器件的快速準確測試而設計的晶圓測試和計量設備。它由一個功能單元組成,其中包含各種最先進的工具和組件,以及旨在簡化測試設備尺寸和性能過程的軟件和硬件。測試系統帶有兩個獨立的AOI(Automated Optical Inspection)系統,可以檢測晶圓表面的各種類型的缺陷。每個單元都能夠檢測到小於0.3 µm的特征大小,甚至可以識別最小的缺陷。還包括幾個面向工藝的精密測量頭,其特點是提高了單面和雙面晶片測試的準確性和可重復性。該機器還包括一個共聚焦檢查器,一個高精度的微觀成像工具,利用一個針點光源和一個先進的CCD相機,以確保準確的缺陷檢測。Confocal Inspector提供設備的低噪聲3D圖像,然後可以分析以確定各種特性。資產還配備了一個增強的光學封裝,專註於測量表面,如晶圓的邊緣,以及一般的晶圓模式識別。此軟件包還提供高分辨率像素特征分析模型,像素大小可降至0.2 µm,用於分析設備特征。KLA Alpha Step 500是一個高度自動化的流程,具有完整的觸摸屏用戶界面,可簡化操作並幫助確保盡可能高的準確性。該軟件還包括一個遠程控制選項,允許從任何位置進行完整的遠程過程控制。總體而言,TENCOR ALPHASTEP 500是一種功能強大、可靠且用途廣泛的工具,用於對半導體晶片和器件進行準確和可重復的分析。該設備具有最先進的功能,如自動光學檢查、共聚焦檢測器顯微鏡和增強的光學器件,確保晶圓測試和計量的最佳結果。
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