二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9073857 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是一種晶圓測試和計量設備，設計用於對各種半導體材料進行超高精度測量。它能夠以極高的精度測量各種器件結構，非常適合半導體制造中先進應用的關鍵工藝開發和監控。該系統配有一個用於詳細檢查表面和界面的強大光學顯微鏡、一個能夠進行精細運動控制的舞臺和一個用於地形表征的掃描探針顯微鏡。KLA Alpha Step 500具有精確的掃描和成像功能,是用於缺陷和模式分析以及解決關鍵尺寸和形狀信息的完美工具。該單元與一套用於半導體應用的高級計量和檢驗工具集成在一起。這包括噪聲和模糊擬合軟件、3D成像和分析,以及剝離的厚度估計和實時過程監控。該機還配備了一套測量選項，包括原位測量、高分辨率表面分析、電氣測量和峰值信號檢測。與該工具集成的多傳感器平臺允許同時獲取復雜半導體結構精確表征所需的高度敏感參數。對資產的自動控制使用戶能夠以高精度和可重復性測量樣品,即使在高吞吐量的生產方案中也是如此。TENCOR ALPHASTEP 500提供強大的晶圓級功能和業界最高的精度。它非常適合設備設計、工藝開發、原型制造、工藝開發和生產工藝支持。TENCOR Alpha Step 500能夠滿足半導體制造的最高質量要求,是任何尖端半導體制造商的寶貴資產。