二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9081303 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是一種設計用於故障分析和亞微米過程控制的高性能晶圓測試和計量設備。該系統旨在用於測量晶圓平坦度、邊緣質量、晶圓變薄和亞微米級的覆蓋。KLA Alpha Step 500利用多傳感器平臺,利用激光幹涉測量、電容和光學技術提供高精度測量。平臺的多傳感器能力允許同時測量晶圓平面度、輪廓、覆蓋、變薄和臨界尺寸等多個晶圓特性以及邊緣分析。TENCOR ALPHASTEP 500具有模塊化設計，允許用戶配置單元以滿足特定的應用和需求。這臺機器有兩種尺寸,臺式機配置最多20個傳感器,或者兩層配置最多40個傳感器。該工具還具有基於Web瀏覽器的集成控制界面,允許用戶從任何Web連接的設備控制資產,以及內置視頻模型,以便於查看晶圓對齊和質量。TENCOR Alpha Step 500利用了先進的多波束采樣器,能夠改進晶圓的特性以及可靠和可重復的測量。該設備的先進算法和自動化功能（如晶圓跟蹤、掃描速率調整和晶圓坐標集）進一步增強了設備的測量能力,從而實現了一致的數據收集。該系統還能夠自動進行單位健康監測的自檢程序，以確保持續的業績並降低昂貴的服務成本。KLA ALPHASTEP 500是業界領先的晶圓測試和計量學單元，在亞微米級提供可靠和可重復的測量。機器采用模塊化設計和多傳感器平臺，允許用戶根據自己的特定應用和需求配置工具。高級功能,如集成的Web瀏覽器界面、多光束采樣器和自動自檢例程,確保資產提供準確可靠的結果。