二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9084578 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是一種先進的晶圓測試和計量設備，設計用於測量包括半導體、光電和微機械元件在內的多種材料的厚度、組成、幾何輪廓和電氣性能。該系統結合了光學幹涉測量、紅外光譜和電容-電壓技術，在廣泛的基板上收集數據。KLA Alpha Step 500使用其非常精確的三維光學聚焦技術,測量幾乎所有材料的厚度,其精確度可降至納米的一小部分。這使得它能夠同時測量晶片材料的組成和組成分布，並測試其電性能，如電阻和電流泄漏特性。這使設備能夠檢測壞批次並測量晶片的粗糙度變化。TENCOR ALPHASTEP 500利用高性能紅外光譜儀和電容電壓數據采集系統來表征半導體和光電晶片。這臺機器可以辨識各種化合物半導體材料系統，如矽​​、氮化銨、氮化矽，並以亞單層分辨率測量其底物表面成分分布。此外,KLA/TENCOR ALPHASTEP 500能夠實時定位光學視場,從而能夠精確測量該層的組成和厚度。KLA ALPHASTEP 500需要清潔室環境才能正確執行所有測量。該工具還具有一個可靠的自動化平臺與機械臂配備不同的探頭。這確保了基板特性的可重復測量,並實現了高吞吐量分析。Alpha Step 500是材料研發、半導體和光電制造線的工藝和質量控制的理想選擇。這一資產也是一個先進的工具，用於表征和分析不斷縮小的、高復雜度的微電子元件。