二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9180951 待售
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ID: 9180951
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
Step height measurement system, 6"
Stylus-based surface profiler
12.5㎛ Stylus
Accurate surface characteristic measurement
With resolution to 1A
Repeatability: 10Å (1s) or 0.1%
With 2D step height metrology profiling
Computer controlled scanning
Data collection
Comprehensive data analysis software
Intuitive user interface
Zoom optics with magnification (70~210X)
Application specific recipes
Multi-scan average mode scans up to 10 times
Averages the scan before print out
Powerful data analysis
With up to 30 standard surface parameters selections
Enables R&D
QA Process control
With step height metrology
Below 50 nm to 300 μm
1995 vintage.
KLA/TENCOR Alpha Step 500是一種晶圓測試和計量設備,能夠對樣品地形進行高度精確的非接觸測量。它具有可變掃描大小,精度為0.1 nm,可以深入了解表面。KLA Alpha Step 500擁有450 mm x 450 mm的大測量場和廣泛的物鏡,能夠對大晶圓進行快速、高分辨率的測量。它是一個易於使用的系統,具有熟悉的用戶界面,允許廣泛的用戶有效地利用該技術。TENCOR ALPHASTEP 500具有廣泛的測量能力,使用戶可以捕捉到三維特征的高質量圖像,從而能夠分析小粒子的精細細節。該設備具有發達的圖像處理單元,可進行獨特的多維數據提取,提供平均高度、步長高度、平坦度、上升高度、表面積、角度、輪廓寬度、表面粗糙度和峰值高度等值。ALPHASTEP 500使用先進的軟件進行自動樣本分析,便於自動分割圖像和整合來自多個測量的數據。KLA/TENCOR ALPHASTEP 500的高精度和精確度,以及滿足各種需求和測試參數的適應性,使其成為各種行業和應用的理想選擇。它可用於檢查和測量從小透明樣品到大不透明區域的所有物體的表面特性,以及顛簸和線條等高階特征。在半導體工業中,TENCOR Alpha Step 500用於多項任務,如測試拋光晶片表面、評估晶界、表征細氧化層或檢測缺陷。此外,機器還用於光學字符識別、形狀識別或標簽檢查等其他任務。總體而言,Alpha Step 500是一種功能強大的晶圓測試和計量工具,可提供高度準確、可重復和可靠的測量結果。是廣大企業、學術研究機構、檢驗計量設施的理想選擇。KLA ALPHASTEP 500具有廣泛的功能、易於使用的接口和快速的運行速度,為測量和分析晶圓及其他表面特征提供了有效的解決方案。
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