二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9230371 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是一種自動化晶圓測試和計量設備，旨在滿足半導體行業的需求。它利用先進的光學幹涉測量技術，在直徑200毫米和300毫米的多個晶圓上測量厚度、曲率、光學特性和其他材料細節。KLA Alpha Step 500有一個專門針對半導體行業而設計的3軸調節平臺，允許它在各種測量配置中容納各種晶圓大小和樣品。此平臺最多可支援6個晶圓同時測量，也能一次掃描多個晶圓。系統底部的激光對準單元允許晶片與單元精確對準，而其移動平臺和機器人自動放大器則提供精確的移動和樣品處理能力。該機的核心測量元件是一個集成幹涉儀，能夠高精度地對樣品進行精確的高分辨率（<1nm）測量。幹涉儀的設計將超精確定位力學與諧振頻率技術相結合，實現了無與倫比的穩定性和準確性。這種幹涉儀能夠進行最高分辨率的測量，還可以在彎曲和不均勻的表面上進行無像差的測量。它還支持一套功能,例如高級工具級診斷和維護實用程序。TENCOR ALPHASTEP 500的集成軟件允許用戶從資產的基本測量模式輕松過渡到可編程模式，提供了廣泛的過程可靠性和高級自動化測試。該軟件還包括數據分析、分析和趨勢跟蹤等功能。除了集成軟件外，這種型號還兼容各種不同的軟件包，可以根據用戶的特定需求量身定制。KLA/TENCOR ALPHASTEP 500是精確晶圓檢測和表征的理想工具。它結合了高端性能、集成軟件和可擴展性,使其成為任何半導體制造工廠的強大資產。